パナソニック インダストリー、半導体製造装置向けオンライン展示会「Machine Evolution Expo」を公開 ～装置の進化を支えるFAデバイス技術・製品・ソリューションを紹介～

次世代半導体の微細化・高性能化に対応するため、半導体製造装置には、高精度な制御、高速処理、安全性の確保、安定稼働など、より高度で複合的な性能が求められています。

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本記事は企業・団体の発表をもとにPR HEADLINE編集部が整理したものです。数値や計画は発表時点の内容であり、変更される場合があります。